Laboratoire de Physique des Plasmas

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Pierre-Alexandre Delattre

Status : PhD student

Low Temperature Plasmas Team

We are working on Voltage Waveform Tailoring with Jean-Paul Booth (PhD supervisor) and Erik Johnson (PhD co-supervisor from LPICM). This way we can play with sheath during the RF cycle and control the energy of impacting ions on electrodes just by change the spectral content of excitation waveform. We currently work on PHILIX reactor at LPICM.

Personal Information

Email : pierre-alexandre.delattre lpp.polytechnique.fr
Tel office : +033 16933 5871
Tel experiment : +033 16933 4328

Room : 05-1002
Laboratoire de Physique des Plasmas
Ecole Polytechnique, route de Saclay
F-91128 Palaiseau Cedex

Research interests

Capacitively coupled plasma reactors, µc-Si:H and a-Si:H thin film deposition by PECVD, radiofrequency circuit and multifrequency impedance matching.

Brief vitae

2010 – present : PhD in Plasma Physics - LPP, Ecole Polytechnique, Palaiseau, France.
2009 – 2010 : Master degree in Plasma Physics, Université Paris-Sud, École Polytechnique and Université Paris Pierre et Marie Curie, France.
2008 – 2009 : Magistère of fundamental physics, Orsay, France.
2005 – 2008 : Bcs of Physics, Université de Cergy-Pontoise, France.

Conference and workshpo

GEC2010 Paris
CIP2011 Nantes
ICPIG2011 Belfast

AVS2011 Nashville

Other activities

President of X’Doc, association of PhD students at École Polytechnique

Thermodynamics teacher at University of Evry.


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